2003年     
    7月  离子源系统获得了丹东市高新技术产品
    12月  顺利的通过ISO9001：2000质量管理体系认证

2004年    
    2月  离子源系列产品获得了高新技术产品证书
    7月  NV6200离子源系统被立项为科技型中小企业技术创新基金的重点项目
    10月  被授为丹东市民营科技企业

2005年    
    3月  离子源系列产品入选中国500******新产品
    4月  离子源系列产品通过了辽宁省新产品鉴定
    5月  NV6200离子源系统获得国家火炬计划项目证书
    5月  离子源系统通过了辽宁省科技成果鉴定
    8月  获得省创信资金的扶持
    10月  被评为丹东市高新技术企业

2006年    
    1月  GSD系列产品获得丹东市高新技术产品称号
    4月  离子源系列产品列为国家重点新产品
    4月  NV6200离子源系统获得丹东市科学技术进步二等奖
    9月  9500系列产品获得丹东市高新技术产品称号
    12月  获得辽宁省科学技术进步三等奖
    12月  NV-6200离子源系统创信基金项目通过国家验收

2007年     
    1月  获得丹东市优秀民营高新技术企业
    4月  顺利通过ISO9001：2000质量管理体系认证
    7月  被评为辽宁省高新技术企业
    7月  NV-6200 离子源系统获辽宁省科技成果转化项目认定
    12月  GSD系列产品被评为辽宁省优秀新产品

2008年    
    7月  获辽宁省中小企业厅专精特新产品金奖
    11月  GSD离子源产业化项目获科技部国家火炬计划项目立项

2010年    
    9月  微波等离子体离子源系统获辽宁省科技型中小企业技术创新资金立项

2014年    
    1月　通过ISO9001:2008质量管理体系认证

2015年    
    1月　成为中国半导体行业协会会员